兩用無油真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，下面小編從幾個(gè)方面來說一下：
1、無油真空泵是半導(dǎo)體刻蝕的工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往會(huì)用到或者是生成腐蝕性氣體和研磨的微粒；
2、兩用無油真空泵低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
3、在食品、醫(yī)藥、化學(xué)等工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機(jī)溶劑造成的污染比較適合用無油真空泵；
4、除了半導(dǎo)體工藝外的某些微粒的工藝，不是希望微?；烊氡糜椭?，而是希望微粒排出泵外，用形式的真空泵是可以滿足要求的；
5、用作一般的無油真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。
近些年來，無油真空泵得到了迅速的發(fā)展，不僅很多公司研制使用新型的真空泵，許多單位也一直對(duì)真空泵進(jìn)行研究?，F(xiàn)在真空泵分為接觸型和非接觸型，它們的特點(diǎn)各部相同，可以根據(jù)它們的用途不同，再加上自己的需求選擇合適的真空泵。（兩用無油真空泵